ObydwaPompa próżniowa i sprężarkasą urządzeniami do przetwarzania gazu, ale ich zasady pracy i zakres zastosowania są różne.
Główną funkcją pompy próżniowej jest usunięcie gazu z komory reakcyjnej w celu zmniejszenia ciśnienia w pojemniku w celu osiągnięcia z góry określonego stopnia próżniowego. Gaz jest ekstrahowany z przestrzeni przez mechanizm ssący i wydechowy w celu utworzenia stanu próżniowego. Pompy próżniowe są zwykle stosowane w laboratoriach, polach produkcyjnych i produkcyjnych. W FABS FABS, sprzęt do trawienia, sprzęt do osadzania, sprzęt do litografii EUV, sprzęt do implantacji jonów, sprzęt do wykrywania i charakteryzowania itp. Wszystkie należy odkurzyć.
Funkcją sprężarki jest wdychanie gazu i ściskanie go, zwiększenie ciśnienia gazu, ściskanie gazu do mniejszej objętości oraz zwiększenie gęstości i ciśnienia gazu. Jego zasadą pracy jest ściskanie gazu przez zawór wydechowy, a następnie umieszczenie sprężonego gazu do zbiornika paliwa lub innego sprzętu. Sprężarki są zwykle używane w polach przetwarzania i produkcyjnych. Sprężarka zapewnia gaz CDA, o którym często rozmawiamy. CDA służy do kontrolowania różnych urządzeń do automatyzacji i zaworów. W przypadku produkcji półprzewodników CDA musi być bardzo czyste i suche. Wyjście powietrza przez sprężarkę musi przejść przez wyrafinowany system filtracyjny, aby usunąć olej, wilgoć i inne cząstki, aby upewnić się, że nie ma zanieczyszczenia opłatek.
Jakie są kategoriePompa próżniowa i sprężarka?
W sprzęcie półprzewodnikowym powszechnie stosuje się suche pompy i pompy molekularne. Sucha pompa odnosi się do pompy próżniowej, która nie wykorzystuje żadnej cieczy jako podłoża uszczelniającego lub chłodzącego, unikając problemu zanieczyszczenia pary oleju. Jest ogólnie stosowany do przybliżonej próżniowej ekstrakcji sprzętu półprzewodnikowego. Pompy molekularne mogą osiągnąć wyjątkowo wysoki poziom próżni. Suche pompy i pompy molekularne są często stosowane w połączeniu w sprzęcie półprzewodników, aby zaspokoić potrzeby różnych poziomów próżni.
Sprężarki można podzielić na tłok, śrubę, odśrodkowe, obrotowe sprężarki powietrza Vane itp.
Ze względu na różne projekty i zasady robocze pompy próżniowej i sprężarki pompy próżniowe zwykle nie mogą zastąpić sprężarki. Chociaż pompy próżniowe mogą zmniejszyć ciśnienie i gęstość gazów, nie mogą ściskać gazów w mniejsze objętości i wyższe ciśnienia. Ponadto, ze względu na ograniczoną wydajność i charakterystykę roboczą pomp próżniowych, najlepiej nadają się do obsługi gazów o niskiej gęstości i środowisków niskiej ciśnienia.
Dlatego jeśli gaz musi zostać sprężony w mniejszą objętość i wyższe ciśnienie, należy zastosować sprężarkę. Wręcz przeciwnie, jeśli gaz trzeba wyodrębnić i powstaje stan próżniowy, należy zastosować pompę próżniową.
Chociaż obaPompa próżniowa i sprężarkaCzy urządzenia są używane do przetwarzania gazu, istnieją duże różnice w zasadzie projektowania i pracy. Chociaż pompa próżniowa może zmniejszyć ciśnienie i gęstość gazu, nie może wymienić sprężarki, szczególnie gdy gaz musi zostać sprężony w mniejszą objętość i wyższe ciśnienie.
